А.Н. Шатохин, Ф.Н. Путилин, М.Н. Румянцева, А.М. Гаськов
Исследования энергетических
характеристик и кинетики осаждения металлов из вакуумной лазерной плазмы на
диэлектрические подложки
Реферат
Исследовано влияние
плотности потока энергии импульсного Kr–F-лазера на процессы генерации лазерной
плазмы олова, палладия и платины, скорости осаждения металлических пленок на
диэлектрические подложки при лазерной абляции. Применение методов дифференциального зондирования лазерной
плазмы с цилиндрами Фарадея и линейного электростатического масс-спектрометра
позволило выделить в ионных сигналах плазмы области однозарядных и
многозарядных ионов, различающихся по кинетическим энергиям. Показано, что
скорости осаждения пленок зависят как от плотности потока энергии
излучения лазера, так и от степени
ионизации лазерной плазмы.
Полный текст статьи в формате PDF
Вестник Московского Университета.
Химия 2007, том 48, № 4, стр. 271-276
Copyright (C) Химический факультет МГУ, 2007
|