ChemNet
 
Вестник Московского Университета, серия "Химия"
Предыдущая статья Следующая статья Содержание  

А.Н. Шатохин, Ф.Н. Путилин, М.Н. Румянцева, А.М. Гаськов

Исследования энергетических характеристик и кинетики осаждения металлов из вакуумной лазерной плазмы на диэлектрические подложки

Реферат

Исследовано влияние плотности потока энергии импульсного Kr–F-лазера на процессы генерации лазерной плазмы олова, палладия и платины, скорости осаждения металлических пленок на диэлектрические подложки при лазерной абляции. Применение методов дифференциального зондирования лазерной плазмы с цилиндрами Фарадея и линейного электростатического масс-спектрометра позволило выделить в ионных сигналах плазмы области однозарядных и многозарядных ионов, различающихся по кинетическим энергиям. Показано, что скорости осаждения пленок зависят как от плотности потока энергии излучения лазера, так и от степени ионизации лазерной плазмы.

  Полный текст статьи в формате PDF

Вестник Московского Университета.
Химия 2007, том 48, № 4, стр. 271-276


Copyright (C) Химический факультет МГУ, 2007


Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается  копирование материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору