ChemNet
 
Вестник Московского Университета, серия "Химия"
Предыдущая статья Следующая статья Содержание  

А.Н. Шатохин, Ф.Н. Путилин, М.Н. Румянцева, А.М. Гаськов

Газочувствительность к водороду тонких пленок диоксида олова, поверхностно легированых лазерной плазмой платины различной структуры и зарядового состава

Реферат

Исследовано влияние структуры и зарядового состава лазерной плазмы Pt при поверхностном легировании тонких пленок SnO2 на их резистивную газочувствительность к водороду. Структура и зарядовый состав плазмы изменялись в зависимости от величины и полярности потенциала (UD) неоднородного электростатического поля, создаваемого между мишенью и пластинами диафрагмы, расположенной в вакуумной камере вне зоны разлета плазмы при воздействии излучения Kr-F-лазера на платиновую мишень. Легирование при UD > 0 вызывает увеличение газочувствительности пленок SnO2 в несколько раз большее, чем легирование квазинейтральной плазмой (UD = 0). Пленки, легированные при UD < 0 с оптимальными по максимуму газочувствительности поверхностными концентрациями Pt, оказываются нечувствительными к изменению состава газовой фазы в температурном диапазоне 50–600°С.

  Полный текст статьи в формате PDF

Вестник Московского Университета.
Химия 2009, том 50, № 6, стр. 468-471


Copyright (C) Химический факультет МГУ, 2009


Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается  копирование материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору